大型エリプソメーターシステム
Axometrics社のエリプソメーターシステムは、ガラス上の薄膜の厚さ、屈折率、異方性、配向方向を高速に測定することが可能です。
概要
AxoScan搭載のエリプソメーターシステムは、完全なミュラーマトリクスを取得した後に解析を行うことで、これまで不可能であった異方性薄膜の特性の評価が可能です。 外部機器との連動をはじめ、お客様の工場共通仕様に準拠するように構築されるシステムです。 第4世代～第8世代までのマザーガラスなどに対応可能です。
VVRM システム
大型ガラス基板上の薄膜の厚さを測定できるAxoScan搭載のエリプソメーターシステムです。 AxoScanは完全なミュラーマトリクスを測定するので、このシステムは特にこれまでのエリプソメーターでは測定が困難であった、異方性薄膜などの測定に対応可能です。
LCDパネルの配向層として使用されるラビング、または光配向 PI（ポリイミド）の配向方向、相対異方性、および厚み、屈折率測定に特に力を発揮します。
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