MEMS デフォーマブルミラー

先進の波面制御デバイスです。 ミラー膜とそれを下から支えるアクチュエーターアレイで構成され、アレイ中の各アクチュエーターは意図する変形パターンを作るため、静電操作によって個別に偏向できます。

ピエゾ式のミラーとは異なり、ヒステリシスの無意な静電操作でミラーの変形ができます。 MEMS デフォーマブルミラーによる先進の波面制御で、より高いコントラスト比と分解能のイメージングが可能になります。

オプティクスの性能限界、大気の乱れ、生体組織の不均一性によって引き起こされる高次の収差を波面成形で補正します。

最高の波面補正と制御で、イメージング精度の劇的な向上に役立ちます。