高速ステアリングミラー(FSM)には、ステアリングプラットフォーム(チルト / チップチルト)、ミラー、位置センサー、およびコントローラーが含まれます。

プラットフォームは、ピエゾアクチュエーター、または 磁気アクチュエーターを使用したメカニズムとなっており、それぞれのコントローラーで制御することができます。

各製品のデータシート :
製品一覧(高速ステアリングミラー)
製品一覧(ミラーカスタマイズ対応 プラットフォーム)

高速ステアリングミラー

p-fsm150s

P-FSM150S

⌀15mmクリアアパーチャを持つピエゾベースの高速ステアリングミラー。 ひずみゲージ位置決めセンサーを搭載しており、正確な位置制御を実現します。

  • 最大傾斜角 : 18 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 700 Hz
  • サイズ : 61 x 63 x 30 mm

m-fsm45

M-FSM45

⌀15mmクリアアパーチャを持つ磁気ベースの高速ステアリングミラー。 渦電流位置決めセンサー(ECS)を搭載することができ、正確な位置制御が可能です。

  • 最大傾斜角 : 50 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 100 Hz
  • サイズ : ⌀45 x 40 mm

m-fsm62

M-FSM62

⌀30mmクリアアパーチャを持つ磁気ベースの高速ステアリングミラー。 渦電流位置決めセンサー(ECS)を装備することができ、正確な位置制御が可能です。

  • 最大傾斜角 : 140 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 100 Hz
  • サイズ : ⌀62 x 60 mm

ミラーカスタマイズ対応 プラットフォーム

tt60sm-sg

TT60SM-SG

平行移動とチルトの動きを生成できるピエゾベースのプラットフォームです。 標準解像度ではチルトモーションのみが利用可能です。

  • 最大傾斜角 : 20 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 2180 Hz
  • サイズ : ⌀55 x 25 mm

dtt15xs-sg

DTT15XS-SG

2つの直交軸に沿ったミラー回転可能なピエゾベースの高速ステアリングプラットフォームです。 ⌀40mmまでのガラスミラーに対応。 ひずみゲージ位置決めセンサー装備で、正確な位置決め制御を実現します。

  • 最大傾斜角 : 2 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 3000 Hz
  • サイズ : 40 x 40 x 24 mm

dtt35xs-sg

DTT35XS-SG

2つの直交軸に沿ったミラー回転可能なピエゾベースの高速ステアリングプラットフォームです。 ⌀30mmまでのガラスミラーに対応。 ひずみゲージ位置決めセンサー装備で、正確な位置制御を実現しています。

  • 最大傾斜角 : 5 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 2600 Hz
  • サイズ : ⌀45 x 22 mm

dtt60sm-sg

DTT60SM-SG

軸 X(チップ)および Y(チルト)周りに 2つの回転を生成します。 ひずみゲージ(SG)位置決めセンサーが組み込まれており、高分解能と正確な位置制御を実現します。 光学偏向角は、直径 2インチまでのミラーで最大 1.2°に達することも可能です。

  • 最大傾斜角 : 10 mrad
  • 無負荷共振周波数 : 1750 Hz
  • サイズ : ⌀65 x 40 mm

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