オプティクス自動表面検査システム
ARGOS
ARGOSは、ISO 10110-7に準拠して、精密光学製品の表面欠陥検査を自動化するシステムです。
球面、非球面、自由曲面レンズやダイシング前のウェハの表面を非接触で検査可能です。
品質管理のための客観的で再現性ある安定した測定ができ、検査結果はデジタル文書化されトレース可能です。
特長
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①客観的で再現性ある測定
オペレータの技量によらない客観的な合否判定で、品質を担保し生産歩留まりを向上します。 -
②自動化
貴重なリソースを節約し、運用コストを削減します。 -
③デジタル文書化
欠陥イメージを含む表面品質の詳細レポートが自動生成され、製造工程の最適化に役立ちます。
仕様
ISO 10110-7に準拠した測定で、5/1×0.016までの表面欠陥にサイズベースの仕様で機能します。
*データシートと合わせて参照ください。こちらからダウンロードいただけます。
製品一覧
ARGOS matrix 200
個々の部品測定からバッチ測定まで
ステージ付き、最大205x205mmのエリアで測定
最大8インチまでのウエハー検査にも使用可能
ARGOS matrix 400
特に大型の光学部品測定（100kg目安）
最大400x600mmのエリアで測定
ISOクラス6のクリーンルーム仕様に最適
FAQ よくある質問
Q1コーティングされた光学部品の表面を検査できますか？
もちろん可能です。スクラッチやディグのような表面の欠陥を検査することができます。コーティングのボイド（部品内部に生じた空隙状の欠陥）もカスタム対応で解決します。
Q2曲率をもった表面を検査できますか?
もちろん可能です。
Q3手持ちの光学部品を検査してもらえますか？
はい、ご相談頂けます。DIOPTIC社では、様々な材質や形状の知見を持っています。
Q4どのくらいの大きさまで検査できますか？
標準のARGOS matrixで、400mm x 400mmまで検査できます。ご要望に応じて、より大きなサイズもカスタム対応可能です。
Q5どのくらいの小ささまで検査できますか？
標準のARGOS matrixで、数十mm径まで検査できます。ご要望に応じて、より小さなサイズもカスタム対応可能です。
Q6標準的な計測時間（タクト）はどの程度ですか？
カタログを参照ください。
検査時間は、検査範囲や表面の曲率によって変わります。平坦な光学面ほど検査時間は大幅に短縮されます。"
Q7MIL-PRF 13830Bに準拠して、検査できますか？
いいえ、ARGOSはISO 10110-7に準拠した検査になります。ISO 10110は、サイズに基づく欠陥検査を行っています。一方、MIL-PRFは、特定の照明条件下での目視検査と規定されています。
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