バキューム エアベアリングパッド
EZ-0472

EZ-0472ベアリングパッドは、内蔵のバキュームゾーンによりセルフプリロードが可能で、高いレベルの固有剛性を備えています。外部からの予圧は不要です。真空ゾーンに真空を供給する必要があります。真空エアベアリングは、アキシャル方向とラテラル方向の両方で高い位置安定性が特徴です。真空ゾーンがあるため、同じ負荷容量を持つ通常のベアリングよりも必要なスペースが大きくなります。このタイプのベアリングは、エレクトロニクス産業、チップ製造、光学産業などで使用されています。弊社では、お客様のご要望に応じた真空エアベアリングパッドの開発・製造を行っています。