ミニチュアリニアステージ　EZ-3221

ダイナミクス、精度、再現性、スムーズなスキャン動作、短時間整定への要求が高い用途

EZ-3221のリニア軸は、ガイドレールとスライドから構成されています。スライドは磁力によってプリロードされ、わずかなニュートン力を除けば摩擦なしに動きます。摩擦のない動きとコンパクトな設計により、ビームガイドに最適です。ガイドレールはステンレス製で、スライドはハードコートされたアルミニウム製です。データシートに記載されている軸は駆動装置と測定システムなしですが、ボイスコイルモーターと測定システムを簡単に取り付けることができます。このリニア軸は、ミラー反転させた２つめのスライドで延長して使用することができます。ガイドレールは、長さ調整が可能です。