フォーカスステージ EZ-5504
EZ-5504フォーカス軸により、EIZENBERGERは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。 外形寸法は99x99x80mm(LxWxH)とコンパクトで、光学部品用の中央連続開口部は約35mmです。 スリップ・スティック・フリーのエア・ベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲にわたって最高の精度を実現し、ナノメートル領域での繰返し精度を実現しています。 極めて低い位置誤差に加えて、軸の傾き誤差の低さは特筆すべきポイントです。フォーカス軸は永久磁石式重量補正を備え、250g のペイロードに対応するように設計されており、50～300gの質量に対して調整可能です。 測定システムには、分解能 1nm、BiSS-Cインターフェースを備えたレニショーの測定ヘッドを使用しています。
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