高精度の位置決め、検査技術、校正システム、光学アライメント、再現性が要求される用途

EZ-0570ロータリーステージは、その高い耐荷重(アキシャル/ラジアルで最大2,200N)により、最大40kgまでの重量物の高精度位置決めに適しています。 特に、非接触測定システムによる測定作業に適しています。 強力な鉄芯トルクモーターを装備しているため、動的アプリケーションも実現できます。 アキシャル方向とラジアル方向の誤差をさらに低減するために、回転テーブルはアイアンレスモーターを使用することもできます。 目盛り数18,000本の測定システム(Numerik RIK4)は、オプションで5、10、50、100の補間係数を供給できます。 ローターはマグネットでプリロードされ、エア供給を切るとハウジングにクランプされ、その位置に固定されます。 設置位置に制限はありません。

特長

  • ダイレクトドライブ式エアベアリング円テーブル
  • 高耐荷重
  • ラジアル振れ <0.15µm
  • 標準品で、1,100rpm
  • 補間付き(RS422で5、10、50、または100倍)または、補間なし(1Vpp)

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