高精度の位置決め、検査技術、校正システム、光学アライメント、再現性が要求される用途
EZ-0675は115x115mmの基本寸法で、非常にコンパクトなエアベアリング回転テーブルです。 測定機での精密な位置決め作業や、リニア軸に取り付けた部品や光学機器の位置合わせに特に適しています。 ターンテーブルは、M6およびM4ネジの4つの貫通穴を介して、上または下からネジ止めすることができます。 目盛り数10,000本を備えた統合測定システム(Numerik RIK4)は、補間機能付き(RS422, 5, 10, 50, 100倍)または補間機能なし(1Vss)のいずれかを供給できます。 また、回転テーブルにはHT(高トルク)バージョンもあります。HTバージョンでは、全高が49mmから60mmに増加します。 マグネットプリロードにより、EZ-0675は供給エアーを切ると自動的にロックされます。 水平にも垂直にも、どの向きにも設置できます。 使用する部材と潤滑剤の不使用で、この回転テーブルはクリーンルーム環境での操作に適しています。
特長
- ダイレクトドライブ式エアベアリング円テーブル
- コンパクト設計 115 x 115 x 49/60mm ※60mm Heightは、High Torque ver.のみ
- ラジアル振れ <0.2µm
- 標準品で、1,000rpm
- 補間付き(RS422で5、10、50、または100倍)または、補間なし(1Vpp)
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