精密旋削、研磨、研削、ウェハ研削分野の駆動/軸受、同心度への要求が高い用途

EZ-0778パッシブロータリテーブルは、高いアキシャル、ラジアル荷重容量と剛性を特徴としています。 100nm以下の低誤差モーションにより、高精度加工工程における回転運動に最適です。 エアベアリング回転テーブルは、ベローズカップリングとプーリーを介して外部モーターで駆動することができます。 ご要望に応じて、工場で事前に組み立てることも可能です。設置位置に制限はありません

特長

  • パッシブエアベアリング回転テーブル
  • 高い耐荷重と剛性
  • エラーモーション <0.1µm
  • ステンレス製

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