ロータリーテーブル　EZ-0779

ウェハ研削、ウェハ薄化、高精度の同期や位置精度が要求される用途

EZ-0779回転テーブルは、高いアキシャル荷重容量と100nm以下のアキシャル/ラジアル誤差モーションを持ちます。もともとウエハープロセス用に開発されたもので、幅広いアプリケーションに適しています。ダイレクトドライブ回転テーブルは、強力な水冷トルクモーターを装備しています。オプションで、最大6つのエアー/真空チャネルを備えたロータリーフィードスルーを組み込むことができます。目盛り数18,000本の測定システム（Numerik Jena RIK4）は、オプションで補間係数5、10、50、100のいずれかを選択できる。補間係数を低く設定すれば高速化が可能になり、高く設定すれば繰返し精度が向上する。設置位置に制限はありません。