精密旋削、研磨、研削、ウェハ研削分野の駆動/軸受、同心度への要求が高い用途

EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 30 nm 未満、ラジアル誤差 50nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。 特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。 ステンレス製ターンテーブルは、外部フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。

特長

Diameter Rotor 155mm, 195mm, 247.6mm

  • パッシブエアベアリング回転テーブル
  • 低いエラーモーション
  • 高速動作可能
  • 高い耐荷重と剛性
  • 様々なサイズで提供

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