光導波路形成用樹脂
平坦性・屈折率整合性に優れ、はんだ耐熱グレードもあり、層間絶縁膜にも適用可能
NTT-AT社の光導波路形成用樹脂は、優れた光透過性と0.001単位で指定可能な屈折率調整機能を持ち、屈折率を1.43～1.62の範囲で制御可能です（精度±0.005）。
この樹脂は、直接露光法、RIE法、スタンパ法を用いた導波路製作に対応し、特にスピンコート時の膜厚制御に優れています。
導波路のクラッド材料としても適しており、平坦性や屈折率整合性に優れ、はんだ耐熱グレードも備えています。
直接露光法による導波路 作製例
多段の導波路の作製例（クラッド/MM導波路コアにエポキシ樹脂を使用）平坦性に優れるため、多段の導波路作成にも適しています
特長
- 屈折率を 0.001 単位で指定可能
- 優れた光透過性
- 粘度調整が可能であり、スピンコート時の膜厚制御性が良好
- 屈折率を 1.43～1.62 の範囲、±0.005 の精度で制御可能
仕様
コア / クラッド材 セット *1
| 主成分 | 屈折率＠830nm | 特長 |
|---|---|---|
| エポキシ系 | コア：1.53±0.005 クラッド：1.51±0.005 |
コア：粘度=2,200mPas Tg=222℃ Δn=1.3% (@830nm) クラッド：粘度=2,900mPas Tg=200℃ |
屈折率調整タイプ
| 主成分 | 屈折率調整範囲 | 特長 |
|---|---|---|
| エポキシ系 | nD=1.43～1.62 | 粘度調整可能（スピンコートの膜厚制御が容易） |
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*1「医薬用外劇物」含有製品です。（取扱いに関しては、SDS をご参照ください。）
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※表の特性値はサンプル測定値であり保証値ではございません。
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