EUV ・ 軟X線用カメラ
pco.edge 4.2 bi XU

裏面照射sCOMセンサーを搭載した理化学用カメラです。 センサーには特殊なコーティングが施されており、可視光から深紫外~軟X線の範囲までカバーします。

さらにこのカメラは超高真空に対応し、特に30eVから1000eVまでの軟X線に高感度です。

イメージセンサーは2048 x 2048 pixel、ピクセルサイズ 6.5µm x 6.5µm。 最大フレームレートは40Hzまで。 そしてダイナミックレンジは88dB、ノイズレベルは 1.9e-(中央値)の性能を持ちます。

EUV & soft X-rayの用途に是非ご検討ください。

特長

  • 高分解能 : 2048 x 2048 ピクセル
  • ピクセルサイズ : 6.5 µm x 6.5 µm
  • 低読み出しノイズ : 1.9 e-
  • 深紫外&軟X線用途に最適
  • 30~1000 eVで高効率
  • 1 x 10-7 mbarまでの真空に対応

仕様(基本性能)

interface USB 3.1 Gen 1
sensor technology sCMOS PulSar
spectral range 1 nm - 1100 nm (1.2 keV to 1.1 eV)
resolution 2048 pixel x 2048 pixel
sensor diagonal 18.8 mm
pixel size 6.5 µm x 6.5 µm
max. frame rate@ full resolution 40 fps (16 bit)
max. pixel rate 184 Mpixel/s (16 bit)
peak QE > 95 % @ 2.28 nm
typ. read noise *1 1.9 e-
dark current @ sensortemperature 0.2 e-/pixel/s @ - 25 °C
max. dynamic range 26,667:1
shutter type RS (Rolling Shutter), GR (Global Reset)
sensor cooling *2 adjustable:from -25 °C to +20 °C peltier with forced air (fan) and water cooling,
calibration setpoint:-10 °C
dimensions *3 (H x W x L) 152 mm x 152 mm x 99 mm
opto-mechanical interface CF100-flange
  • *1
    readout noiseは中央値(median)です。 すべての値はフィルターなしの生データです。
  • *2
    air = ファンによる強制空冷、water = 外部から冷却水を供給
  • *3
    CF100フランジを含む

技術資料


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