• デモ機あり

デジタル2Dガルバノスキャナー
SUPERSCAN IV

デジタル2軸ガルバノユニット、シビアな産業アプリケーションのために

SUPERSCAN IV シリーズはデジタル制御は、非常にダイナミックな応答とSS-IV-15 は 200rad/s までの速度を提供します。

また SS-IV-30 では堅牢で水冷式のマスタブロック設計により、石英スキャンミラーを使用した場合、最大 6kW のレーザーパワーのアプリケーションで利用が可能です。

特長

  • SL2-100 プロトコルによる20bit分解能(XY2-100 プロトコルもサポート)
  • 電力損失を大幅に低減し、熱発生を最小限に抑えたデジタル・ドライバー・ボード(PWM)制御
  • ダイナミック応答と高速性により最大限の生産性を実現
  • 多様な用途に対応する複数のチューニングとミラーコーティングが選択可能

容易な設定性

すべての標準的なレーザーの種類、波長、パワー密度、焦点距離、および加工フィールド、F-theta、ミラー基板など構成利用可能です。
これは、最良の品質および最適化されたスループットで広範囲のタスクを処理することを可能にします。
また、あなたのアプリケーションのための完全な構成をまとめることが可能です。


仕様

一般仕様

電源 電圧:+30 V または +48 V
電流:2 A RMS、最大 5 A
リップル/ノイズ:最大 200 mVpp,@ 20 MHz 帯域幅
周囲温度 +15℃ ~ +35 ℃
保存温度 -10℃ ~ +60 ℃
湿度 ≤ 80 % 結露なし
IP コード 64
インターフェース信号:デジタル XY2-100-拡張プロトコル
SL2-100 プロトコル
典型的な振り角 ± 0.393 rad
分解能 XY2-100-E 16 ビット 12 µrad
分解能 SL2-100 20 ビット 0.76 µrad
繰り返し精度(RMS) < 2.0 µrad
ポジションノイズ(RMS) SS IV-10, 15:< 4.5 µrad
SS IV-20, 30:< 3.2 µrad
温度ドリフト 最大 Gaindrift ※1:15 ppm/K
最大 Offsetdrift ※1:10 µrad/K
長期ドリフト 8 時間(水温制御なし) ※1 < 60 µrad
長期ドリフト 8 時間(水温制御)※1, ※2 < 40 µrad
  • ※1
    光学的な角度。軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で。
  • ※2
    30 分の暖機後、工程負荷を変化させ、水温制御を 2l / 分以上に設定し、水温を 22 ℃にした場合。

APERTURE 依存仕様 - 機械的データ

ガルバノユニット SUPERSCAN IV-10 SUPERSCAN IV-15 SUPERSCAN IV-20-QU SUPERSCAN IV-30
入力口径 [mm] 10 15 20 30
ビーム変位 [mm] 12.5 (SI) 18.1 (QU, SI), 18.0 (SC) 26.00 36.0 (SI, SC), 35.4(QU)
重量(レンズなし) [kg] 約 3.2 約 3.2 約 5.5 約 5.5
寸法(L x W x H)[mm] 170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5 203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.5 ※1 203.0 x 159.0 x 150.0
  • ※1
    AXIALSCAN model, output plate for protection window

ミラー基板素材: QU = 石英  SC = 炭化ケイ素  SI =シリコン

  • 製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
    メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

SUPERSCAN IV-15 は、特に太陽電池産業におけるウェハの構造化やウォブル溶接、電子部品のマーキングなどに適しています。
デジタル制御と強力な PWM 出力ステージにより、スピードとダイナミックな応答が保証されています。
カメラアダプターと MVC(マシンビジョン)コンポを組み合わせることで、プロセス監視機能を備える複雑なアプリケーションに対応できます。


技術資料


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