AXIALSCAN-20/30 は、大フィールドサイズにおいて、優れた高品質を保ちつつ、非常に小さいスポット径、フレキシブル性、高速スキャン速度、長期安定性、低ドリフト値 を実現します。これら組み合わせにより高パワー密度のスポットを達成し、新たなアプリケーションが可能となりました。 また、同時にシステムコストにも成功しています。本サブモジュールは、フィールドサイズ 100mm×100mmから1,800mm×1,800mm までに 対応するよう設計されています。
AXIALSCAN-20 [Y]
特長
- 3D アプリケーション用
- 最大 4kW までのレーザーパワーに対応
- ダブルモーターオプションで、高速 Z 軸を実現
- 各種可変フィールドサイズ (mm x mm):100×100 から1,800×1,800
アプリケーション
カッティング、穿孔、ウェルディング、ドリル、オンザフライ・マイクロ機械加工、3Dアプリケーション、添加物製造のような材料プロセス
オプション
- AXIALSCAN MOTORIZED(電動式):ステッパーモーターインターフェースにより、 フィールドの舵取りをモーターでの調節が可能になるオプション。
- AXIALSCAN-HP - 最大 4kW までのNd: YAG と CO2 に対応したオプティクスを持つハイパワータイプ
- AXIALSCAN-HS - ダブルモーター駆動 Z 軸と超軽量・硬化構成のミラーを使用した高速タイプ
インターフェース
本サブモジュールは、XY2-100 スタンダードと互換性があります。SP-ICE-1 PCI PRO またはアナログ電流・電圧インターフェースなどを介して、デジタル制御をすることができます。
仕様
一般仕様
電源 | 電圧:±15 to ±18 V 電流:7.5 A, RMS, 最大 10 A リップル / ノイズ:最大 200 mVpp, @ 20 MHz 帯域幅 |
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インターフェース信号 | Digital | XY2-100 プロトコル |
周囲温度 | +15 ~ +35 °C |
保存温度 | -10 ~ +60 °C |
湿度 | ≤ 80 % 結露なし |
重量 | 約 12.0 kg ~ 16.5 kg |
最大入力口径 | 15 mm / 20 mm (高出力) |
CO2 (10.6 µm) AXIALSCAN-20 - C および AXIALSCAN-30 - C/BO の構成例
フィールドサイズ (mm x mm) | 100 x 100 | 250 x 250 | 500 x 500 | 750 x 750 | 1,000 x 1,000 | 1,250 x 1,250 | 1,500 x 1,500 |
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Spot diameter 1/e2 (µm)※1 | |||||||
AXIALSCAN-20-C BO100 / BO250 | 172 / - | 312 / 337 | 737 / 600 | - / 900 | - / 1,200 | - / 1,500 | - / 1,800 |
AXIALSCAN-30-C/BO BO100/BO250 | 108 / - | 214 / 237 | 452 / 471 | - / 706 | - / 941 | - / 1,176 | - / 1,411 |
作動距離 (mm) ※2 | |||||||
AXIALSCAN-20-C | 79 | 301 | 573 | 883 | 1,192 | 1,502 | 1,811 |
AXIALSCAN-30-C/BO | 74 | 259 | 569 | 878 | 1,188 | 1,497 | 1,806 |
分解能 (µm) | < 4 | < 8 | < 16 | < 24 | < 32 | < 40 | < 48 |
Nd:YAG (1064 nm) AXIALSCAN-20-Y および AXIALSCAN-30-Y の構成例
フィールドサイズ (mm x mm) | 200 x 200 | 400 x 400 | 600 x 600 | 800 x 800 | 1,000 x 1,000 | 1,200 x 1,200 |
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Spot diameter 1/e2 (µm) ※1 | ||||||
AXIALSCAN-20-Y | 34 | 66 | 99 | 126 | 160 | 194 |
AXIALSCAN-30-Y | - | 40 | 60 | 79 | 98 | 117 |
作動距離 (mm) ※2 | ||||||
AXIALSCAN-20-Y | 202 | 450 | 697 | 945 | 1,192 | 1,440 |
AXIALSCAN-30-Y | - | 445 | 693 | 940 | 1,188 | 1,435 |
分解能 (µm) | < 7 | < 13 | < 19 | < 25 | < 31 | < 37 |
Nd:YAG 2倍波(532 nm) AXIALSCAN-20 - DY WITH LTM-15 DY [200] V2 の構成例
フィールドサイズ (mm x mm) | 200 x 200 | 500 x 500 | 800 x 800 | 1,000 x 1,000 | 1,200 x 1,200 |
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Spot diameter 1/e2 (µm) ※1 | 18 | 40 | 64 | 80 | 96 |
作動距離 (mm) ※2 | 229 | 573 | 945 | 1,192 | 1,440 |
分解能 (µm) | < 7 | < 17 | < 26 | < 35 | < 42 |
Nd:YAG 3倍波(355 nm) AXIALSCAN-20 -TY(LTM-15 TY [200] V2 D2)の構成例
フィールドサイズ (mm x mm) | 200 x 200 | 500 x 500 | 700 x 700 | 1,000 x 1,000 | 1,200 x 1,200 |
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Spot diameter 1/e2 (µm) ※1 | 12 | 27 | 37 | 53 | 63 |
作動距離 (mm) ※2 | 202 | 573 | 821 | 1,193 | 1,440 |
分解能 (µm) | < 7 | < 17 | < 24 | < 35 | < 42 |
-
※1入力ビーム品質:M² =1.0
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※2ガルバノユニットまたは出力プレート(SS-IIE & SS-III)の下端から加工面まで。注:実際のスポットサイズおよび書き込み速度は、材料およびアプリケーションに依存し、したがって、アプリケーションに応じて著しく変化します。フラットフィールド(2D)で加工する場合は、3Dライセンスなして利用できます。
3Dアプリケーション(Z方向)の場合は3Dライセンスが必要になります。
2軸スキャナー部分のユニットの仕様例
ガルバノユニット | SUPERSCAN IIE-20L | TURBOSCAN IIl-30 |
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機械データ | ||
入力口径 (mm) | 20 | 30 |
ビーム変位量 (mm) | 25.63 ※3 / 26.28 | 35.4 ※3 / 36.0 |
質量(対物レンズなし) (kg) | 約 3.3 | 約 5.9 |
動的データ | ||
典型的なガルバノ(光学的) (rad) | ± 0.393 | ± 0.393 |
再現性(RMS) (µrad) | 2 | 2 |
最大 Gaindrift (ppm/K) ※1 | 15 | 15 |
長期ドリフト 8 時間 (µrad/K) ※1 | 10 | 10 |
Long-term drift (µrad) ※1, ※2 | < 100 | < 60 |
加速時間(10-90%) (ms) ※3 | ≤ 0.58 | ≤ 0.85 |
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※1軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で
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※230分の暖機後(ミラーを動作)、水温制御を2l/分以上に設定し、水温を22˚Cにした場合
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※3Siミラーの仕様
レーザー | Nd:YAG | Nd:YAG doubled |
Nd:YAG tripled |
CO2 |
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波長 (nm) | 1,064 | 532 | 355 | 10,600 |
コーティング | AR コーティング | AR コーティング | AR コーティング | AR コーティング |
最大レーザー出力 CW (W) :AS-20 | 500 ※1 | 300 ※1 | 100 ※1 | 500 ※2 |
最大レーザー出力 CW (W) :AS-30 | 4,000 ※1 | - | - | 2,500 ※2 |
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※1QU
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※2SC
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※製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。
技術資料
データシート
動画一覧
3D レーザーマーキングの加工例
AXIALSCAN-30アライメント手順
Step
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①Required tools(0:38)
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②Alignment and collimation of laser beam(1:09)
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③Pre-setting the field size(2:40)
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④Mechanical adjustment(4:09)
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⑤Focal adjustment with Linear Translator(5:03)
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⑥Fine focal adjustment in Software weldMARK(5:53)
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⑦Control focus results(7:08)
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