SIOS Meßtechnik (SIOS)

超高精度レーザー干渉計・超高精度ポジショニング計測システム

SIOS Meßtechnik社（以下 SIOS社）は、ピコメートルレベルの超精密測定を実現するレーザー干渉計テクノロジーをベースに、
幅広い超高精度測定システムとレーザー干渉計測定装置を提供しています。
次世代半導体設備、高性能CMM、精密加工機器など、“長さ、角度、真直度、振動、温度”における高精度、高分解能を求めるアプリケーションで威力を発揮します。