VACOM社のスタンダードビューポートはホウケイ酸ガラスとが合成石英ガラスからできています。
取り外し可能な Oリングシール付きビューポートは高真空のご用途や
150℃までの温度下での使用に適しています。

VACOM 社では最も一般的な CF, KF, ISOのフランジサイズ対応はもちろん、
より手軽に素早く真空チャンバーにアクセスできる QAD (quick access doors) にも対応しています。

さらにスタンダードビューポートは、取り付けが素早くできるガラスウィンドウ一体型の
Quick CFバージョンも用意しています。

特長

  • ホウケイ酸ガラスと合成石英ガラス(Borofloat® 33 または Silux®)
  • 簡単な取り付けと取り外し
  • リーク率:< 1・10-9 mbar l/s
  • 最大耐熱:150℃(アルミニウムフレームは120℃)
  • 必要に応じてAR(反射防止)コーティング可能

仕様

仕様


ご注文方法

Flange connection: KF, T(max) = 150 °C

Order code  
Borosilicate 
Order code  
Quartz 
Flange   A L2 
VPKF40B-E-Z  VPKF40Q-E-Z  DN40KF  57 10 40 3,8 
VPKF50B-E-Z  VPKF50Q-E-Z  DN50KF  77 10 50 3,8 

Flange connection: ISO-K (flange mounting with clamps), T(max) = 150°C

Order code  
Borosilicate 
Order code  
Quartz 
Flange   A L2 
VPISOK63B-E-Z  VPISOK63Q-E-Z  DN63ISO-K  98 70 14 3,8 
VPISOK100B-E-Z  VPISOK100Q-E-Z  DN100ISO-K  133 102 13 5
VPISOK160B-E-Z  VPISOK160Q-E-Z  DN160ISO-K  183 153 17 9
VPISOK200B-E-Z  VPISOK200Q-E-Z  DN200ISO-K  243 200 17 13

Flange connection: ISO-F (wall mounting with screws), T(max) = 120°C

Order code  
Borosilicate 
Order code  
Quartz 
Flange   A L2 
VPISOF63B-E  VPISOF63Q-E  DN63ISO-F  130 70 12 3,8 
VPISOF100B-E  VPISOF100Q-E  DN100ISO-F  165 102 12 5
VPISOF160B-E  VPISOF160Q-E  DN160ISO-F  225 153 16 9
VPISOF200B-E  VPISOF200Q-E  DN200ISO-F  285 200 16 13

Flange connection: ISO-K (wall mounting with claw clamps), T(max) = 150°C

Order code  
Borosilicate 
Order code  
Quartz 
Flange   A L2 
VPISOK63B-E  VPISOK63Q-E  DN63ISO-K  98 70 12 3,8 
VPISOK100B-E  VPISOK100Q-E  DN100ISO-K  133 102 12 5
VPISOK160B-E  VPISOK160Q-E  DN160ISO-K  183 153 15 9
VPISOK200B-E  VPISOK200Q-E  DN200ISO-K  243 200 19 13
  • Option: KF and ISO-K flange made of stainless steel 316L

技術資料

データシート


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