CF, KF, ISO用
ビューポート
VACOM社のスタンダードビューポートはホウケイ酸ガラスとが合成石英ガラスからできています。
取り外し可能な Ｏリングシール付きビューポートは高真空のご用途や
150℃までの温度下での使用に適しています。
VACOM 社では最も一般的な CF, KF, ISOのフランジサイズ対応はもちろん、
より手軽に素早く真空チャンバーにアクセスできる QAD (quick access doors) にも対応しています。
さらにスタンダードビューポートは、取り付けが素早くできるガラスウィンドウ一体型の
Quick CFバージョンも用意しています。
特長
- ホウケイ酸ガラスと合成石英ガラス（Borofloat® 33 または Silux®）
- 簡単な取り付けと取り外し
- リーク率：< 1・10-9 mbar l/s
- 最大耐熱：150℃（アルミニウムフレームは120℃）
- 必要に応じてAR（反射防止）コーティング可能
仕様
ご注文方法
Flange connection: KF, T(max) = 150 °C
| Order code Borosilicate |
Order code Quartz |
Flange | A | D | L | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VPKF40B-E-Z | VPKF40Q-E-Z | DN40KF | 57 | 10 | 40 | 3,8 |
| VPKF50B-E-Z | VPKF50Q-E-Z | DN50KF | 77 | 10 | 50 | 3,8 |
Flange connection: ISO-K (flange mounting with clamps), T(max) = 150°C
| Order code Borosilicate |
Order code Quartz |
Flange | A | D | L | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VPISOK63B-E-Z | VPISOK63Q-E-Z | DN63ISO-K | 98 | 70 | 14 | 3,8 |
| VPISOK100B-E-Z | VPISOK100Q-E-Z | DN100ISO-K | 133 | 102 | 13 | 5 |
| VPISOK160B-E-Z | VPISOK160Q-E-Z | DN160ISO-K | 183 | 153 | 17 | 9 |
| VPISOK200B-E-Z | VPISOK200Q-E-Z | DN200ISO-K | 243 | 200 | 17 | 13 |
Flange connection: ISO-F (wall mounting with screws), T(max) = 120°C
| Order code Borosilicate |
Order code Quartz |
Flange | A | D | L | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VPISOF63B-E | VPISOF63Q-E | DN63ISO-F | 130 | 70 | 12 | 3,8 |
| VPISOF100B-E | VPISOF100Q-E | DN100ISO-F | 165 | 102 | 12 | 5 |
| VPISOF160B-E | VPISOF160Q-E | DN160ISO-F | 225 | 153 | 16 | 9 |
| VPISOF200B-E | VPISOF200Q-E | DN200ISO-F | 285 | 200 | 16 | 13 |
Flange connection: ISO-K (wall mounting with claw clamps), T(max) = 150°C
| Order code Borosilicate |
Order code Quartz |
Flange | A | D | L | L2 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VPISOK63B-E | VPISOK63Q-E | DN63ISO-K | 98 | 70 | 12 | 3,8 |
| VPISOK100B-E | VPISOK100Q-E | DN100ISO-K | 133 | 102 | 12 | 5 |
| VPISOK160B-E | VPISOK160Q-E | DN160ISO-K | 183 | 153 | 15 | 9 |
| VPISOK200B-E | VPISOK200Q-E | DN200ISO-K | 243 | 200 | 19 | 13 |
- Option: KF and ISO-K flange made of stainless steel 316L
技術資料
データシート
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