赤外レーザー走査型共焦点顕微鏡
IRLC
目に見えない表面下の欠陥検査に
マイクロクラック、マイクロボイド（微細空孔）のような、目に見えない表面下の欠陥や製造上の欠陥は見過ごされることが多いです。 製造中の高濃度でのドーピングは、ウエハやチップパッケージの非破壊検査/観察を非常に難しくします。 近赤外（NIR）または赤外（IR）光源を使った、スタンダードな広域検査ツールは存在しまが、これらのシステムでは深く浸透させることができず、特定のフォーカス面で選択的に画像化することしかできません。
特長
シリコン内部の検査を実現する近赤外共焦点顕微鏡
パワフルな近赤外レーザーとスキャニング共焦点顕微鏡を組み合わせることにより従来の広域IR顕微鏡システムに、さらにいくつかのユニークな利点が生まれました。
まずは、透明や半透明サンプルの表面下の薄い部分または光学切片の高分解能画像の作成です。
また、このシステム構成により、ターゲットへのより深い浸透、より高い分解能、高速画像収集にもつながります。
ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像
ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像
フォーカスしたままワンクリックで継続的デュアル観測
IRLC には、カラー CMOS カメラと明視野イメージングのための LED 照明システムが含まれ、オペレータが目的とするエリアをすばやく捉えることができます。
表面検査用システムは、近赤外レーザーとスキャニング共焦点顕微鏡を搭載しています。
この組み合わせで、サンプルの表面下 800µm までのより深い画像化が可能です。
ワンクリックでこの観察方法を切り替えられます。
IRLCは、WDIのオートフォーカス 6 センサー (ATF6)、光学オフセットアジャスタ (OOA) と速Z軸アクチュエーター (ZAA) 技術を使用し、観測方法や表面計測の変化に関わらず一定のフォーカスにとどまります。
リニアXY測定と高度な画像取得が可能
ソフトウエア内の測定タブで、リニア XY「点から点」と「点から多点」測定が可能です。
測定は、ソフトウエア内に表形式で記録および保存され、分析用に .csv でエクスポートもできます。
システムには、高度な画像取得オプションがあり、フレームの平均化、平均化された画像、最大 Z 投影デルタ Z オーバーレイおよび２点画像シーケントキャプチャ間の一画像シーケンスの取得などができます。
検査ルーチンの完全自動化
IRLC に統合されたモータリゼーション、オートフォーカスを自動化コントロールソフトウエアと組み合わせることにより、完全自動化検査ルーチンをおこなうよう設定することができます。
簡単かつ直感的なユーザーインターフェースを通し、ROI、倍率、深さや照明の輝度設定などの様々な個々の位置パラメーターを定義できます。
これらのルーチンは、複数サンプルに対して実行可能で、検査プロセスの完全自動化を実現します。
高スループット検査用レシピの作成
IRLC は、ウエハやICストリップとトレーパッケージ両方の完全検査レシピの作成と実行をおこなうことができます。
ウエハ、トレーまたはストリップとICパラメーターの定義は、画像インターフェースを通して簡単にできます。
コーナ検出機能はアライメントに関係なく、IC 位置登録を自動化します。
一度レシピが作成されると、レシピは他の個々のサンプル、またはトレー全体やデバイスのストリップに対して実行され、検査の精度や信頼性や全体のより良い効率を確証します。
仕様
| CATEGORY | SPECIFICATION | IRLC SYSTEM | LSCM SYSTEM |
|---|---|---|---|
| General System | System class | Class 1 | Class 1 |
| Observation methods | NIR laser scanning confocal, conventional brightfield |
NIR laser scanning confocal, conventional brightfield |
|
| Electrical | 3 separate AC outlets, 100-240 V, 50/60 Hz, single phase |
3 separate AC outlets, 100-240 V, 50/60 Hz, single phase |
|
| Current | 13.0 A total system | 13.0 A total system | |
| Operating temperature | 10℃ to 30℃ ambient | 10℃ to 30℃ ambient | |
| Operating humidity | < 70% non-condensing | < 70% non-condensing | |
| Weight (main unit) | 900 kg | 175 kg | |
| Lens Changer | Motorized turret | 6 lens capacity | 6 lens capacity |
| Z Stage Jack | Stroke | Motorized, 50 mm stroke | Manual, 75 mm stroke |
| Motorized Z Actuator (Hybrid ZAA also available for high speed IRLC) |
Type | 1/32 stepper motor | 1/32 stepper motor |
| Travel | 10 mm | 10 mm | |
| Resolution | 0.157 μm | 0.250 μm | |
| Maximum speed | 10 mm/sec | 10 mm/sec | |
| Maximum load | 3.5 kg | 3.5 kg | |
| Motorized XY Stage (Manual stage also available for LSCM) |
Type | Linear encoder stepper motor | Linear encoder stepper motor |
| Travel | 300 mm x 300 mm | 200 mm x 200 mm | |
| Resolution | 0.1 μm | 0.1 μm | |
| Maximum speed | 120 mm/sec | 120 mm/sec | |
| Accuracy | 20 μm/300 mm | 20 μm/300 mm | |
| Repeatability | 1 μm | 1 μm | |
| Maximum load | 1 kg | 1 kg | |
| Autofocus | Structured light pattern | Line segment | Line segment |
| Sensor wavelength | 658 nm | 658 nm | |
| Image detector | Area scan CMOS | Area scan CMOS | |
| Motorized OOA | Depth range | 0 to 800 μm | 0 to 800 μm |
| Brightfield Illumination | Type | Super bright white LED | Super bright white LED |
| Brightfield CMOS Camera | Size | 1/2 inch 2 MP CMOS | 1/2 inch 2 MP CMOS |
| Resolution | 1600 X 1200 | 1600 X 1200 | |
| Frame rate | 10 FPS full resolution | 10 FPS full resolution | |
| Bit depth | 10 bits | 10 bits | |
| Pixel size | 4.2 μm X 4.2 μm | 4.2 μm X 4.2 μm | |
| Confocal Illumination | Type | Single mode laser diode | Single mode laser diode |
| Maximum laser power | 500 mW | 300 mW | |
| Wavelength | 1155 nm | 1178 nm | |
| Typical spectral width | 5.0 nm | 2.3 nm | |
| Confocal Photodetector | Spectral response range | 900 nm ~ 1700 nm | 900 nm ~ 1700 nm |
| Resolution | 496 x 500 | 512 x 512 | |
| Bit depth | 8 bits | 8 bits | |
| Virtual pixel size | 7.5 μm standard | 7.5 μm standard |
| 5X | 10X | 20X | 50X | 100X*1 | |
|---|---|---|---|---|---|
| Numerical Aperture | 0.1 | 0.3 | 0.45 | 0.65 | 0.85 |
| Working Distance | 23 mm | 18 mm | 8.3 mm | 4.5 mm | 1.2 mm |
| Field Number | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
| Correction Collar | - | - | Yes | Yes | Yes |
| Glass Thickness Correction | - | - | 0~1.2 mm | 0~1.2 mm | 0~0.7 mm |
-
*1100X objective is optional on LSCM.
図面
IRLC システム
LSCM システム
技術資料
データシート
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