トラッキングオートフォーカス
ATF4

ATF4は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、
高速・高精度トラッキングを提供します。
世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済みです。

対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、
原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現しました。

カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量です。

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仕様
図面
動作原理
コントロールソフトウェア
技術資料

仕様

ATF4 Sensor

Structured Light Pattern	Single Dot
Sensor Wavelength	Choice of 660nm, 785nm or 850nm
Image Detector	Line Scan CMOS
Static Autofocus Accuracy	± 1/4 Objective Depth of Focus
Fast Tracking Autofocus Accuracy	± 1/2 Objective Depth of Focus

General Performance

Reflectivity Adaption Delay	1ms
Laser Type	Semiconductor
Laser Safety	Class 2
Weight	250g
Dimensions	40 X 40 X 120mm
Maximum Cable Length	1.8m
Compliance	CE SEMI

External Requirements

Specimen Reflectivity	1% ~ 99%
Glass Thickness	> 0.5mm
Diffusing Specimen	No
Specular Specimen	Yes
Patterned Specimen	No
Textured Specimen	No

Operating Specifications

Input Voltage	18V ~ 25V, 24V Nominal
Operating Temperature	18°C ~ 35°C
Storage Temperature	10°C ~ 45°C
Humidity	10% ~ 75% Non Condensing

図面

動作原理

ATFセンサーは、スルー・ザ・レンズ (TTL) 三角測量の原理を使用して、
フォーカスを合わせる方向と距離を認識することにより、
一般の近接センサーの技術的な多くの問題を解決しています。

成形したレーザー光パターンを、対物レンズを通してサンプルに照射します。
それはサンプルによって反射され、対物レンズを戻って ATFセンサー内部のイメージセンサーで結像され、
分析されて、最良のフォーカシングのために、距離および方向を計算します。

レーザーパターンが最小のドット、またはラインになるとき、サンプル面はフォーカスしています。
レーザーパターンが半円または長方形として大きくなる場合、
サンプル面はフォーカス位置の上または下にあります。

ATFセンサーは対物レンズの焦点深度DOF の中心付近に、フォーカスを合わせるために
距離と方向の両方を素早く認識し、Zステージ (ZAA) をコントロールします。

コントロールソフトウェア

WDI社製 ATFセンサーは、コントロールソフトウェア(左図)と開発用SDKライブラリをサポートしており、お客様が作成したアプリケーションからの制御による装置組み込みも可能です。

「Move & Graph (Z ポジション測定機能) 」やフォーカス位置チューニング「Wizard」などの機能により、インストールとアライメントプロセスが簡単にできます。

カスタマイズには、最大８つの対物レンズと５つのターゲット材料または基板のパラメータを登録する機能があります。

高度なオプションとして、ATF が TFT アレイなどの多層レイヤの各サーフェスからの反射を区別して特定の基板に選択的にフォーカスすることを可能にする「セルモジュール」や、ターゲットが PCB などの異なる高さおよび反射率からなる複数のサーフェスから構成される場合に使用される「マルチプレーンオートフォーカス」などがあります。

技術資料

ATF4　トラッキングオートフォーカス　データシート

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トラッキングオートフォーカス ATF4

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