標準顕微鏡 および 高度顕微鏡自動化アプリケーションに最適

WDIのオートフォーカスセンサー、ATF6.5を紹介します。

ATF6.5センサーは、より広範な用途に対して、より高速、より高精度、およびより柔軟性を求める顧客の要求に対応するため、ハードウェア、機能、およびソフトウェアの大幅な改善を含みます。

ATF6.5の新しいレーザーダイオードおよび投影光学系は、拡張されたキャプチャーレンジ、およびリニアレンジとフォーカス精度の両方の改善をもたらしました。
センサーは高度な表面認識、マルチプレーンオートフォーカス、およびビデオフォーカスも使用できます。

WDIのATF技術は、フラットパネルディスプレイ、エレクトロニクス、および半導体製造を含む多くの環境において世界中で使用され、生物医学研究、および画像自動化アプリケーションにも広く採用されています。

WDIは、革新的な顕微鏡自動化ソリューションの設計、エンジニアリング、および製造を行っています。ソリューションには、OEMコンポーネント、ならびに完全なオプトメカニカルサブシステム、およびオプトエレクトロニクスサブシステムが含まれます。

当社の製品は、小型オートフォーカスセンサや自動顕微鏡モジュールから、エンドユーザのIRイメージングシステムまで多岐にわたります。
WDIの技術は、ライフサイエンス、バイオメディカルイメージング、マシンビジョン、エレクトロニクス/半導体製造を含む幅広い産業における個人および企業を支援しています。

現在、インテル、コーニング、アップル、サムスン、およびLGなどの企業によって使用されています。

特長

  • 改善されたセンシングレーザー
  • 表面認識の向上
  • フォーカス可能エリアの拡大
  • 距離認識精度の改善
  • アップグレードされたソフトウェア機能
  • レーザーとビデオオートフォーカスが可能
  • ATF6 と互換性のあるコネクタパターン

ATF6.0からの改善点

レーザーと光学系の改良

新しいより強力なマルチモードレーザーダイオードは、旧式センサー(ATF6)に比べ 12 倍です。新しいレーザーと結合されるのは、改良されたレーザー投影およびパターン形成光学系です。その結果、対物レンズ開口に対して2倍の長さと4倍の幅のレーザーラインになります。
これらの変化は、オートフォーカス冗長性の劇的な増加、アラインメントの容易さや光学的な性能が大幅に向上しています。

キャプチャレンジの拡張

3倍のフォーカス可能な Z エリアの増加は、低倍率から高倍率への切り替えが可能になったことを意味しています。フォーカスの遅延は発生しません。
この改善により、「セル」「高度な表面認識」「マルチプレーンオートフォーカス」などのオプション機能も正式に追加されました。
さらに 50 倍の表面認識が容易に達成できるようになり、ATF6.5 は今日利用可能な最先端の顕微鏡オートフォーカス製品となりました。

ソフトウェアの改善

ATF6.5 ソフトウェアは、「レーザーライン」および「ビデオ」オートフォーカスの両方を利用できるよう改良され、センサーにさらなる柔軟性を加えています。
これに関連して、センサーがゼロからの所定のオフセットに自動的に焦点を合わせることを可能にする「SetReference(基準設定)」や、高度な構成パラメーターの自動設定を可能にする「System Tune(システム同調)」などの新しい機能が利用でき、インテグレーションをこれまで以上に高速かつ容易になっています。

セットアップとリニアリティ

ATF6.5 センサーから対物レンズまでの配置距離を 200mm から 300mm 以上に 50% 増加させているので、光学アライメントおよび、機械的な配置を容易にしています。
ATF6.5 はリニアリティ(距離精度)が改善されているため、アライメントはさらに容易になっています。直線性の向上は、より簡単で信頼性の高い操作と、UV、NIR、その他の対物レンズのオフセットの補正の向上も意味します。


動作原理

ATFセンサーは、スルー・ザ・レンズ (TTL) 三角測量の原理を使用して、
フォーカスを合わせる方向と距離を認識することにより、
一般の近接センサーの技術的な多くの問題を解決しています。

成形したレーザー光パターンを、対物レンズを通してサンプルに照射します。
それはサンプルによって反射され、対物レンズを戻って ATFセンサー内部のイメージセンサーで結像され、
分析されて、最良のフォーカシングのために、距離および方向を計算します。

レーザーパターンが最小のドット、またはラインになるとき、サンプル面はフォーカスしています。
レーザーパターンが半円または長方形として大きくなる場合、
サンプル面はフォーカス位置の上または下にあります。

ATFセンサーは対物レンズの焦点深度DOF の中心付近に、フォーカスを合わせるために
距離と方向の両方を素早く認識し、Zステージ (ZAA) をコントロールします。

ATFシリーズの動作原理について

コントロールソフトウェア

WDI社製 ATFセンサーは、コントロールソフトウェア(左図)と開発用SDKライブラリをサポートしており、お客様が作成したアプリケーションからの制御による装置組み込みも可能です。

「Move & Graph (Z ポジション測定機能) 」やフォーカス位置チューニング「Wizard」などの機能により、インストールとアライメントプロセスが簡単にできます。

カスタマイズには、最大 8つの対物レンズと 5つのターゲット材料または基板のパラメータを登録する機能があります。

高度なオプションとして、ATF が TFT アレイなどの多層レイヤの各サーフェスからの反射を区別して特定の基板に選択的にフォーカスすることを可能にする「セルモジュール」や、ターゲットが PCB などの異なる高さおよび反射率からなる複数のサーフェスから構成される場合に使用される「マルチプレーンオートフォーカス」などがあります。


技術資料


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