高速追尾レーザーAF ユニット
ATF6
高速追尾レーザーAFユニット、ATF6は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、
高速・高精度トラッキング（追尾）を提供します。
世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済みです。
ATFシリーズは、AF光源にライン状のレーザーを採用した、アクティブ方式のオートフォーカスユニットです。
対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、
原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現しました。
カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量です。
動作原理
ATFセンサーは、スルー・ザ・レンズ (TTL) 三角測量の原理を使用して、
フォーカスを合わせる方向と距離を認識することにより、
一般の近接センサーの技術的な多くの問題を解決しています。
成形したレーザー光パターンを、対物レンズを通してサンプルに照射します。
それはサンプルによって反射され、対物レンズを戻って ATFセンサー内部のイメージセンサーで結像され、
分析されて、最良のフォーカシングのために、距離および方向を計算します。
レーザーパターンが最小のドット、またはラインになるとき、サンプル面はフォーカスしています。
レーザーパターンが半円または長方形として大きくなる場合、
サンプル面はフォーカス位置の上または下にあります。
ATFセンサーは対物レンズの焦点深度DOF の中心付近に、フォーカスを合わせるために
距離と方向の両方を素早く認識し、Zステージ (ZAA) をコントロールします。
コントロールソフトウェア
WDI社製 ATFセンサーは、コントロールソフトウェア(左図)と開発用SDKライブラリをサポートしており、お客様が作成したアプリケーションからの制御による装置組み込みも可能です。
「Move & Graph (Z ポジション測定機能) 」やフォーカス位置チューニング「Wizard」などの機能により、インストールとアライメントプロセスが簡単にできます。
カスタマイズには、最大 ８つの対物レンズと ５つのターゲット材料または基板のパラメータを登録する機能があります。
高度なオプションとして、ATF が TFT アレイなどの多層レイヤの各サーフェスからの反射を区別して特定の基板に選択的にフォーカスすることを可能にする「セルモジュール」や、ターゲットが PCB などの異なる高さおよび反射率からなる複数のサーフェスから構成される場合に使用される「マルチプレーンオートフォーカス」などがあります。
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