高速リニアレンズチェンジャー
LLC
最大で８レンズ装着で高速レンズ切替えが可能です。
TFTアレイやフォトマスク検査・リペアなど、対物レンズ倍率切り替え頻度の高い工程に威力を発揮する、高速対物レンズポジションチェンジャです。
特長
- #1→#6で0.5秒以下の高速レンズ切り替えを実現
- レンズ位置精度 ±0.1µｍ以下
- クラス100クリーンルーム対応
仕様
| LLC2 | LLC4 | LLC6 | LLC8 | LLC3+ |
|---|---|---|---|---|
| Maximum Number of Lenses | 2 | 4 | 6 | 8 |
| Lens Spacing Center to Center | 35mm | 38mm | 38mm | 38 mm |
| Motor Type | Stepper Motor | Shaft Linear Motor | Shaft Linear Motor | Shaft Linear Motor |
| Motion Actuation Implementation | Linear Actuator | Fixed Forcer & Encoder Head | Fixed Forcer & Encoder Head | Fixed Forcer & Encoder Head |
| Encoder | - | Linear Encoder | Linear Encoder | Linear Encoder |
| Servo Type | - | Digitally Controlled Linear Servo | Digitally Controlled Linear Servo | Digitally Controlled Linear Servo |
| Servo Positioning Accuracy | ±0.1µm | ±0.1µm | ±0.1µm | ±0.1µm |
| Positioning Repeatability | ±3µm | ±0.1µm | ±0.1µm | ±0.1µm |
| Bearings | High Precision Cross-Roller | High Precision Cross-Roller | High Precision Cross-Roller | High Precision Cross-Roller |
| Recommended Controller | MCX | MFC | MFC | MFC |
| Weight Excluding Lenses | 1.8kg | 3.2kg | 4.1kg | 5.4kg |
| Dimensions (L×W×H) mm | 126×85×28 | 433×102×75 | 576×102×75 | 395×102×75 |
| Supply Voltage | 24V | 48V | 48V | 48V |
| Peak Current | 1A | 2.5A | 2.5A | 2.5A |
| Compliance | Clean Room Class 10 SEMI | Clean Room Class 10 SEMI | Clean Room Class 10 SEMI | Clean Room Class 10 SEMI |
Lens Change Time
| Lens Change Time | LLC2 | LLC4 | LLC6 | LLC8 | LLC3+ |
|---|---|---|---|---|---|
| 1-8 | - | - | - | 0.7s | - |
| 1-7 | - | - | - | 0.6s | - |
| 1-6 | - | - | 0.5s | 0.5s | - |
| 1-5 | - | - | 0.4s | 0.4s | - |
| 1-4 | - | 0.4s | 0.4s | 0.4s | - |
| 1-3 | - | 0.3s | 0.3s | 0.3s | - |
| 1-2 | 2s | 0.2s | 0.2s | 0.2s | - |
Specifications for LLC3+
| Specifications for LLC3+ | 3L Insert | 4L Insert | 3S Insert | 5S Insert |
|---|---|---|---|---|
| Maximum Number of Lenses | 3 | 4 | 3 | 5 |
| Objective Lens Type | Large Diameter (44mm) | Large Diameter (44mm) | Standard | Standard |
| Objective Ring Light Illumination | No | No | Yes | No |
| Lens Spacing Center to Center | 54.75mm | 36.5mm | 54.75mm | 27.38mm |
| Weight Excluding Lenses | 1.6kg | 1.6kg | 1.6kg | 1.6kg |
Lens Change Time
| Lens Change Time | 3L Insert | 4L Insert | 3S Insert | 5S Insert |
|---|---|---|---|---|
| 1-5 | - | - | - | 0.4s |
| 1-4 | - | 0.4s | - | 0.4s |
| 1-3 | 0.4s | 0.3s | 0.4s | 0.3s |
| 1-2 | 0.2s | 0.2s | 0.2s | 0.2s |
技術資料
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