対物レンズフォーカス用ステージ（リニアサーボモータ式）
DOF-5
従来のピエゾ・フォーカスステージからの置換えに！
高帯域幅を実現する対物レンズフォーカス用ステージ（リニアサーボモータ式）
DOF-5 対物レンズフォーカス用ステージは、従来のピエゾステージに比べ、5 mmの広い移動範囲と225 Hzを超える高い帯域幅を、圧倒的なコストパフォーマンスで提供します。
サーボドライブとモーションコントローラーをステージ内部に組み込むことで、複雑な配線を排除し、システム全体のコストを抑えつつ、同等またはそれ以上の性能を実現しています。
- すべての制御を内部に搭載：外部接続はケーブル1本のみ
- 5 nm RMSの位置安定性：高精度な動作をサポート
- 25 nmの繰り返し精度：一貫した性能を提供
- 試作に最適、量産にもコスト効率が高い
「ショート・トラベルレンジ」と「圧電鳴音」というピエゾの制限から開放し、スピードや分解能など、ピエゾにおけるすべての利点を低価格で提供します。 このDOF-5ステージは、プロトタイプから量産プロジェクトまで幅広いニーズに応え、高精度を求める光学機器の分野で特に効果を発揮します。
特長
- ピエゾフレクシャステージにはない 5 mmストローク
- サーボ制御によりシステムコストと配線の手間を削減！
- 高サーボ帯域（>150 Hz）、高速動作、高速整定時間（100 nm ステップで ±10 ms）、低位置変動、超低ジッター
- 分解能 1.25 nmまたは5 nmの光学リニアエンコーダ搭載
- 一定の力の釣り合いが対象物との衝突を回避し、モータ温度の上昇を最小化
仕様
| Total Travel |
≥ 5 mm |
|---|---|
| Payload Mass ※1 |
0 - 900 g ※1 |
| Full Travel Accuracy (2σ) ※2, ※3 |
5 µm |
| Full Travel Bi-directional Repeatability (2σ) ※2, ※3 |
1 µm |
| Bi-directional Repeatability, 100nm move(2σ) ※2, ※3 |
≤ 25 nm |
| Home Repeatability (2σ) |
≤ 1 µm |
| Minimum Move |
15 nm |
| Servo Bandwidth ※3 |
> 225 Hz |
| Move and Settle (100nm step, ±15nm) ※3 |
≤ 15 ms |
| Move and Settle (250nm step, ±15nm) ※3 |
≤ 15 ms |
| Servo Stability |
≤ 5 nm (rms) |
| Max Velocity (1.25nm feedback resolution) |
30 mm/s |
| Max Velocity (5nm feedback resolution) |
125 mm/s |
| Max Acceleration with 1kg Payload |
6 m/s2 |
| Dimensions (excluding objective mount) |
77H x 82W x 30D mm |
| Communications Options: RS232, RS485, CAN, Step & Direction) |
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※1Other loads can be supported, for info contact Dover Motion.
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※2Tested according to ISO230-2 standard.
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※3Specifications based on a 250g payload.
Staircase plot of 100 nm moves (Laser Interferometer Data sampled at 10kHz)
各部名称と説明
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①対物レンズマウントは、ステージの動きと平行になるように高精度にアライメントされています
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②対物レンズは、通常の顕微鏡では下向きに配置され、倒立顕微鏡では上向きにすることができます
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③運動軸と光軸のアライメントを迅速、正確、かつ繰り返し行うための高精度なエッジがあります
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④コンスタントフォースカウンターバランスが搭載されています
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⑤光学リニアエンコーダとハーフトラベルホーミングベーン（移動範囲の半分で位置を検出し、装置の原点復帰を実現する機構）が搭載された、高性能な内部サーボ駆動・制御が可能です
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⑥電源、通信、高速オートフォーカスI/O用のシングルロッキングコネクターが備わっています
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⑦微調整可能な正負方向のエンドオブトラベルストップにより、対物レンズがサンプルに衝突するのを防ぎます
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⑧強靭なクロスローラベアリングを採用することで、フレクシャステージ特有の平面外の変形や可動性の問題を回避し、高速な移動と安定した位置合わせを実現します
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⑨前面または背面から取り付けることができる便利な構造です
技術資料
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