XYステージ　EZ-0117

位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工用途

XYステージEZ-0117の設計で特に重視されたのは、高精度の要求とコスト重視の設計です。エアベアリングトレッドはベローズで覆われており、パーティクルの侵入を防ぎます。
ベローズを装備しているにもかかわらず、高い位置決め精度を実現しています。
鉄芯同期モーターにより、加速度は最大10 m/s2、移動速度は最大1 m/s。機械ベッドは花崗岩製。クロステーブルの側面には、エネルギー、信号、媒体を伝送するためのインターフェースプレートが装備されています。
両軸とも、電気および空圧エネルギーを個別に供給できます。
終端位置は誘導センサーにより検出されます。XYステージには２つのサイズがあり、移動範囲は250 x 450 mmまたは250 x 800 mmです。
ご要望に応じて、他の寸法や２軸システムの拡張も可能です。