マルチアクシスシステム

製品ラインアップ

• XYステージ
  EZ-0117

  

  ストローク：250mm x 450mm
  ストローク：250mm x 800mm

• XYガントリーステージ
  EZ-0714

  

  ストローク：500mm
  再現性：±50nm

• 高精密ガントリーステージ
  EZ-0715

  

  ストローク：350mm x 450mm
  再現性：±20nm

• 高精密 Impuls Decoupled ステージ
  EZ-0730

  

  ストローク：850mm x 500mm
  ステップ間精度：<1nm

• エアベアリング ZC軸ステージ
  EZ-0745

  

  Z方向のストローク：5mm
  回転角度：±3°

• ZC軸モーションシステム
  EZ-4360

  

  Z方向のストローク：310mm
  耐荷重の回転テーブル