高精密ガントリーステージ　EZ-0715

位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工用途

EZ-0715ガントリーステージは、高精度なアプリケーション向けに設計されています。
増分測定システム（Heidenhain LIP6.G0）と最適化されたデザインにより、単軸で位置精度±.250.nm、繰り返し精度±.25.nmを実現。
真空プリロードされたスライドと最適化された質量分布により、最小の設置スペースで高い剛性が可能。
コアレスモーターにより、最大10 m/s²の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能。
エンドポジションは誘導センサーによって検出。
スライドは対称に取り付けられたドラッグチェーンを介してエネルギー供給され、ガントリーステージの機械ベッドは花崗岩製。
XYシステムはカスタマイズ可能で、Z軸および/またはC軸を含むように拡張可能です。