エアベアリング ZC軸ステージ　EZ-0745

位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工用途

エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ（EZ-0715など）への組込みを想定しています。高度に統合された設計で、全高は約138mmと低く抑えられています。
回転角度は±3°に制限されています。1.5 μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。
Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動されます。
エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。
Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。