『SiCウェハ』『GaNウェハ』などの『先進パワー半導体ウエハ』の量産化 ・ 低コスト化をサポート
SiC基板、GaN基板の『残留応力測定』
高品質光学ガラス、光学部品の残留応力を迅速、かつ簡単に測定
リアルタイムポラリメーター StrainScopeは、光学特性を利用して、透明体サンプルの歪(ひずみ)の有無 ・ 分布状態の観察、応力方向の解析、歪の定量測定をリアルタイムで行える計測システムです。
StrainScope Optics Tester
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