低コストイオンソース
IG5
IG5 低コストイオンソースは、低いガス流量レートで作動する冷陰極イオン源で、
イオンクリーニング、スパッタリングアプリケーションに理想的です。
フィラメントがないのでメンテナンスが容易です。
特長
- ローコスト
- ビームエネルギー：１ ～ ５ keV
- 即座に動作
- フィラメントフリー
仕様
| Model | IG5 |
|---|---|
| Beam Energy | 1.0 ～ 5.0 keV |
| Beam current | > 0.1 mA |
| Filaments | None／filament free |
| Power supply included | YES |
| Integral valve | YES |
| Mounting flange | NW35CF／70 mm／2.75” |
| Bakeout (UHV compatible) | to 250 ℃ |
| Standard length / diameter | 56 mm／34 mm |
| Options | Manual Focus and X／Y deflection, Automated raster scanning |
用途
- イオンクリーニング
- スパッタリングアプリケーション
技術資料
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