Oxford Applied Research

ナノサイエンス＆表面科学 研究用機器

イギリス Oxford Applied Research社（1978年設立）は、表面技術・ナノサイエンス研究用機器製品、
薄膜製膜のためのUHV/HVコンポーネントを得意としています。

• Oxford Applied Research社のホームページ

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• ナノテクノロジ＆表面科学
• MBE / UHV コンポーネント
• イオンソース

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ナノテクノロジ＆表面科学

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  ミニｅ-ビームエバポレーター
  EGシリーズ

  超高純度膜の作製に利用されています。UHV 環境下での極薄膜作製に最適です。

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  サーマルガスクラッカー
  TCシリーズ

  電子ビーム加熱技術を利用しガス分子を低パワー（< 60W）で効率よく解離します。

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MBE / UHV コンポーネント

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  ピエゾエレクトリックガスドーザー
  PLV1000

  UHV の装置に適合したオールメタルのリークバルブで内蔵圧電素子を用いて制御。

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  RFアトムソース
  HDシリーズ

  RF 放電を利用した中性ビームの発生源です。

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  サドルフィールドファーストアトムビーム
  （FAB) ソース

  電荷を持たない中性の直線ビームを生成します。

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イオンソース

• 低コストイオンソース
  IG5

  

  低いガス流量レートで作動する冷陰極イオン源でイオンクリーニングなどに理想的です。

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