サーマルガスクラッカー
TCシリーズ
TCシリーズ サーマルガスクラッカは、電子ビーム加熱技術を利用し、
ガス分子を低パワー（＜60W）で効率よく解離します。
直接水冷することにより、常に30℃以上になるのは、フィラメントと
クラッキングチューブだけなので、極めてクリーンなオペレーションとコンタミなしを可能にします。
TCシリーズサーマルガスクラッカーは、ガスラインに直接接続されている
細い口径のイナートクラッカーチューブを組み込んでいるのでガス負担を制限し、
非常に低い流量レートで高効率解離を供給します。
特長
- 高い解離効率
- 超クリーンオペレーション
- 非常に低いパワー（＜60W）
- バックアップフィラメント標準装備
- 低メンテナンス
仕様
| Model | TC50 *1 |
|---|---|
| Mounting | NW35CF |
| In-vacuum diameter | 34 mm |
| In-vacuum length | 200 mm (standard) |
| Cracker temp. | 1000 ℃ |
| Max. Power | 60 W |
| Services | Water (0.5 litres／min. <20℃) |
| Power supply | Single phase 110／220 V AC |
| Gas flow rate | <0.5 sccm |
| Filaments | Two ThO2-coated (one spare) |
| Options | Remote computer-operated gas doser valve with RS232 interface Shutter – manual or remote |
-
*1A Technical Note on the TC50 and its applications is available on request.
用途
- “ソフト”基板クリーニング
- 酸化物、窒化物
- 表面活性
- ゼロダメージ水素クリーニング
- H、Cl、Brによるエッチング
- H2、O2、ハイドライド、ハロゲン、HCs、NH3
技術資料
データシート
アプリケーションノート
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