サーマルガスクラッカー
TCシリーズ

TCシリーズ サーマルガスクラッカは、電子ビーム加熱技術を利用し、
ガス分子を低パワー(<60W)で効率よく解離します。

直接水冷することにより、常に30℃以上になるのは、フィラメントと
クラッキングチューブだけなので、極めてクリーンなオペレーションとコンタミなしを可能にします。

TCシリーズサーマルガスクラッカーは、ガスラインに直接接続されている
細い口径のイナートクラッカーチューブを組み込んでいるのでガス負担を制限し、
非常に低い流量レートで高効率解離を供給します。

特長

  • 高い解離効率
  • 超クリーンオペレーション
  • 非常に低いパワー(<60W)
  • バックアップフィラメント標準装備
  • 低メンテナンス

仕様

Model TC50 *1
Mounting NW35CF
In-vacuum diameter 34 mm
In-vacuum length 200 mm (standard)
Cracker temp. 1000 ℃
Max. Power 60 W
Services Water (0.5 litres/min. <20℃)
Power supply Single phase 110/220 V AC
Gas flow rate  <0.5 sccm
Filaments  Two ThO2-coated (one spare)
Options Remote computer-operated gas doser valve with RS232 interface
Shutter – manual or remote
  • *1
    A Technical Note on the TC50 and its applications is available on request.

用途

  • “ソフト”基板クリーニング
  • 酸化物、窒化物
  • 表面活性
  • ゼロダメージ水素クリーニング
  • H、Cl、Brによるエッチング
  • H2、O2、ハイドライド、ハロゲン、HCs、NH3

技術資料

データシート

アプリケーションノート


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