軟X線用 Cr/Sc 多層膜ミラー

Cr/Sc 多層膜は軟X線領(3.1 nm to 5 nm)の光学部品の反射コーティングとして使われます。

ビームの伝送、形成またはイメージング用のミラーとしてこの材料の組み合わせは知られています。スペクトルバンド幅が非常に狭いため、これらのミラーは高分解能モノクロメーターとして使用されます。(λ/Δλ ≈ 300)

用途

  • Water Window 領域のX線顕微鏡
  • X線望遠鏡
  • プラズマ源の分析
  • 蛍光分析(XRF)
  • X線分光(XPS/ESCA)

カスタマイズ

  • マグネトロンスパッタリング方式を使用した波長 3.1~5nm 用 Cr / Sc 多膜ミラーコーティング
  • カスタム仕様(波長、入射角)のミラー設計
  • 様々な材質(例:シリコン、セロデュアなど)局率のある材質への蒸着(径、曲率などによります)

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