optiX fab

optiX fab社は、Fraunhoferからスピンアウトした、極端紫外線や軟X線で多くの実績のあるメーカーです。
「水の窓」用の反射ミラーを提供しています。


仕様

軟X線、EUV 用多層膜オプティクス

  反射率 波長 半値幅 レイヤー数
Mo/Si ミラー 68.80 % 13.5 nm 0.50 nm 60
Mo/Si/C ミラー 69.60 % 13.5 nm 0.51 nm 60
ブロードバンドミラー > 18 % 13~15 nm 2.30 nm 57
ナローバンドミラー 14.60 % 13.50 nm 0.077 nm 40
Cr/Sc ミラー 17.30 % 3.11 nm 0.008 nm 600
Sc/Si ミラー 56.60 % 44.70 nm 5.5 nm 20

高温用多層膜オプティクス

  反射率 使用温度 期待寿命
MoSi2/Si 35 % < 400 degC > 100 hrs
Mo/C/Si/C 60 % < 250 degC > 100 hrs

「水の窓」water window 帯域用多層膜ミラー

お問い合わせの際は、下記項目をお知らせください。

  • 中心波長
  • 反射バンド幅(FWHM)
  • ご必要な最低反射率と入射角、偏光
  • 基板サイズや形状
  • 数量

反射カーブの各サンプル


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