EUV ブロードバンドミラー
EUV スペクトル領域の多層膜ミラーは入射角とスペクトル領域（通常： Dl = 0.5 nm, Dq = 10°）が制限されてきました。
この新しいコーティングデザインはこの使用可能範囲を広げました。この結果、大きく曲率のある材質へコーティングができるようになり、ブロードバンドミラーは広域のプラズマ源とともに使用できるようになりました。
波長範囲 13～15 nm 用のブロードバンドミラーと通常多層膜ミラーとの反射率の比較
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