EUV ナローバンドミラー

通常 EUV 範囲の多層膜ミラーは狭波長範囲（通常：Δλ ≈ 0.5 nm at λ=13 nm）であるためモノクロメーターとして使用されてきました。新しいコーティングデザインはこの分解能の問題を改善しました。

左グラフは、ベルリンのシンクロトロン BESSY II において反射計 PTB にて測定された EUV ナローバンドミラーの波長 13.5nm での反射率です。半値全幅（FWHM）が高次反射オーダーで大きく改善されています。吸収率がより高くなるため反射率が減少します。したがって最適なコーティングデザインは反射率と FWHM の間で検討されなければいけません。