35nm～50nm 領域用
Sc/Si 多層膜オプティクス
λ = 46.9 nm 発光のパルスハイパワーレーザーには高反射ビーム形とイメージングオプティクスが必要です。スカンジウム / シリコンベースの多層膜がこの用途に適しています。
Sc/Si 多層膜オプティクスは、35 nm～50 nm 範囲のミラー、ビームスプリッター、偏光子やモノクロメーターなどのアプリケーションに使用できます。特殊バリア層が発光と熱安定性および Sc/Si 多層膜オプティクスの光学特性を増強させるために使用されます。
Sc/Si 多層膜のTEMマイクログラフクロスセクション
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