ｆシータ (ｆθ) レンズ
合成石英
XYガルバノスキャナー、またはポリゴンスキャナーと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ（Plane field object lens）、または単にスキャンレンズと呼ばれています。
ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジ（共焦点顕微鏡、眼科）、科学や研究に加えて、工業材料のレーザー加工、
レーザードリリング（穴あけ）、 合成材料のレーザー溶接、レーザー切断など、さまざまな用途で使用されています。
一般的にƒθレンズは、
- 標準ƒθレンズ
- テレセントリック ƒθレンズ
の２種類に分けられます。
標準ƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
標準ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたってほぼ一定のスポットサイズが得られます。
像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。
テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、３次元（深さ）の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。
現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。
製品画像
レーザー用レンズ素材について
短パルスレーザーや超短パルスレーザーだけでなく、平均出力の高いレーザーはレンズにとって重要な課題です。
レーザー加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザー光源での使用を強く推奨します。
適切なレンズ選択への確認項目
- 入射レーザー（波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅など）
- スポット径
- スキャンエリア（Scan size）
- 必要なワーキングディスタンス
製品一覧
1030-1090 nm
| PART NUMBER | FOCAL LENGTH [mm] |
SCAN AREA [mm x mm] |
FOCUS SIZE (1/e²) |
MAX. BEAM-⌀ [mm] |
MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°] |
WORKING DISTANCE [mm] |
SP/USP*1 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| S4LFT4147-328 | 48 | 7 x 7 | 6.3 | 15 | 2.1 | 61.1 | yes | |
| S4LFT4065-328 | 65 | 15 x 15 | 9.4 | 15 | 2 | 83.1 | yes | |
| S4LFT0710/328 | 100 | 60 x 60 | 39.1 | 5 | 11.5 | 120.7 | yes | — |
| S4LFT4010/328 | 100 | 35 x 35 | 19.5 | 10 | 1.3 | 129.8 | yes | |
| S4LFT4127/328 | 125 | 50 x 50 | 13.6 | 15 | 1.5 | 157.6 | yes | |
| S4LFT0763/328 | 163 | 100 x 100 | 45.6 | 7 | 14.6 | 194.1 | yes | |
| S4LFT3162/328 | 163 | 90 x 90 | 21.2 | 15 | 5.6 | 201.5 | yes | |
| S4LFT3167/328 | 163 | 100 x 100 | 32.6 | 10 | 11.6 | 200.7 | yes | |
| S4LFT0725/328 | 254 | 140 x 140 | 61.5 | 8 | 16.2 | 282.8 | yes | |
| S4LFT3250/328 | 254 | 160 x 160 | 33.2 | 15 | 10.7 | 321.3 | yes | |
| S4LFT1330/328 | 330 | 215 x 215 | 33.3 | 20 | 23.5 | 203.4 | yes | |
| S4LFT1420/328 | 420 | 280 x 280 | 58.5 | 14 | 17.3 | 499.2 | yes | |
| S4LFT5430-328 | 430 | 250 x 250 | 30.0 | 30 | 11.6 | 538 | yes | — |
| S4LFT1655/328 | 650 | 410 x 410 | 63.3 | 20 | 22.5 | 581.6 | yes | |
| S4LFT0910/328 | 910 | 500 x 500 | 65.8 | 30 | 16.2 | 1048.8 | yes |
515-532 nm
| PART NUMBER | FOCAL LENGTH [mm] |
SCAN AREA [mm x mm] |
FOCUS SIZE (1/e²) |
MAX. BEAM-⌀ [mm] |
MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°] |
WORKING DISTANCE [mm] |
SP/USP*1 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| S4LFT4148/292 | 48 | 6 x 6 | 3.2 | 15 | 1.8 | 60 | yes | |
| S4LFT4066/292 | 65 | 15 x 15 | 4.8 | 15 | 1.5 | 85.8 | yes | |
| S4LFT4010/292 | 100 | 35 x 35 | 9.8 | 10 | 1.5 | 130.2 | yes | |
| S4LFT4126/292 | 125 | 53 x 53 | 12 | 10 | 1.6 | 167 | yes | |
| S4LFT3161/292 | 163 | 90 x 90 | 15.4 | 10 | 4.8 | 219 | yes | |
| S4LFT4262/292 | 163 | 65 x 65 | 12.7 | 12 | 1.7 | 195.4 | yes | |
| S4LFT1330/292 | 330 | 212 x 212 | 24.3 | 14 | 20.3 | 279 | yes |
420-480 nm
| PART NUMBER | FOCAL LENGTH [mm] |
SCAN AREA [mm x mm] |
FOCUS SIZE (1/e²) |
MAX. BEAM-⌀ [mm] |
MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°] |
WORKING DISTANCE [mm] |
SP/USP*1 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| S4LFT4125/373 | 125 | 45 x 45 | 6.1 | 20 | 1.6 | 160.2 | yes | |
| S4LFT3170/373 | 168 | 75 x 75 | 7.6 | 20 | 3.2 | 228.3 | yes | |
| S4LFT3250/373 | 241 | 115 x 115 | 10 | 20 | 7.4 | 304.8 | yes | |
| S4LFT1330/373 | 330 | 180 x 180 | 10.7 | 20 | 11.1 | 268.2 | yes |
343-355 nm
| PART NUMBER | FOCAL LENGTH [mm] |
SCAN AREA [mm x mm] |
FOCUS SIZE (1/e²) |
MAX. BEAM-⌀ [mm] |
MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°] |
WORKING DISTANCE [mm] |
SP/USP*1 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| S4LFT4149/075 | 48 | 6 x 6 | 2.1 | 15 | 2.1 | 69.3 | yes | |
| S4LFT4067/075 | 65 | 15 x 15 | 3.1 | 15 | 1.8 | 81.7 | yes | |
| S4LFT4010/075 | 100 | 35 x 35 | 6.5 | 10 | 1.2 | 132 | yes | |
| S4LFT4125/075 | 125 | 53 x 53 | 8 | 10 | 1.1 | 156.9 | yes | |
| S4LFT3170/075 | 163 | 90 x 90 | 11.4 | 10 | 4.3 | 221.7 | yes | |
| S4LFT4262/075 | 163 | 65 x 65 | 10.5 | 10 | 2 | 193.7 | yes | |
| S4LFT1330/075 | 330 | 210 x 210 | 15.4 | 14 | 21 | 260.5 | yes |
257-266 nm
| PART NUMBER | FOCAL LENGTH [mm] |
SCAN AREA [mm x mm] |
FOCUS SIZE (1/e²) |
MAX. BEAM-⌀ [mm] |
MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°] |
WORKING DISTANCE [mm] |
SP/USP*1 | データシート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| S4LFT4068-199 | 65 | 20 x 20 | 2.5 | 15 | 1.3 | 85.6 | yes | — |
| S4LFT3170/199 | 154 | 85 x 85 | 7.7 | 10 | 3.8 | 208.1 | yes | |
| S4LFT4263/199 | 163 | 70 x 70 | 9.2 | 10 | 2.6 | 218.4 | yes |
-
*1usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.
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