XYガルバノスキャナー、またはポリゴンスキャナーと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ(Plane field object lens)、または単にスキャンレンズと呼ばれています。

ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジ(共焦点顕微鏡、眼科)、科学や研究に加えて、工業材料のレーザー加工、
レーザードリリング(穴あけ)、 合成材料のレーザー溶接、レーザー切断など、さまざまな用途で使用されています。

一般的にƒθレンズは、

  • 標準ƒθレンズ
  • テレセントリック ƒθレンズ

の2種類に分けられます。

標準ƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
標準ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたってほぼ一定のスポットサイズが得られます。
像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、3次元(深さ)の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。

現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。

製品画像


レーザー用レンズ素材について

短パルスレーザーや超短パルスレーザーだけでなく、平均出力の高いレーザーはレンズにとって重要な課題です。
レーザー加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザー光源での使用を強く推奨します。


適切なレンズ選択への確認項目

  • 入射レーザー(波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅など)
  • スポット径
  • スキャンエリア(Scan size)
  • 必要なワーキングディスタンス

製品一覧


1064 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELECEN-
TRICITY ERROR
[°]
WORKING
DISTANCE
[mm]
SP/USP*1
S4LFT0710/328 100 60 x 60 39.1 5 11.5 120.7 yes
S4LFT4010/328 100 35 x 35 19.5 10 1.3 129.8 yes
S4LFT4127/328 125 50 x 50 13.6 15 1.5 157.6 yes
S4LFT0763/328 163 100 x 100 45.6 7 14.6 194.1 yes
S4LFT3162/328 163 90 x 90 21.2 15 5.6 201.5 yes
S4LFT3167/328 163 100 x 100 32.6 10 11.6 200.7 yes
S4LFT0725/328 254 140 x 140 61.5 8 16.2 282.8 yes
S4LFT3250/328 254 160 x 160 33.2 15 10.7 321.3 yes
S4LFT1330/328 330 215 x 215 33.3 20 23.5 203.4 yes
S4LFT1420/328 420 280 x 280 58.5 14 17.3 499.2 yes
S4LFT1655/328 650 410 x 410 63.3 20 22.5 581.6 yes
S4LFT0910/328 910 500 x 500 65.8 30 16.2 1048.8 yes

532 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELECEN-
TRICITY ERROR
[°]
WORKING
DISTANCE
[mm]
SP/USP*1
S4LFT4148/292 48 6 x 6 3.2 15 1.8 60 yes
S4LFT4066/292 65 15 x 15 4.8 15 1.5 85.8 yes
S4LFT4010/292 100 35 x 35 9.8 10 1.5 130.2 yes
S4LFT4126/292 125 53 x 53 12 10 1.6 167 yes
S4LFT3161/292 163 90 x 90 15.4 10 4.8 219 yes
S4LFT4262/292 163 65 x 65 12.7 12 1.7 195.4 yes
S4LFT1330/292 330 212 x 212 24.3 14 20.3 279 yes

450 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELECEN-
TRICITY ERROR
[°]
WORKING
DISTANCE
[mm]
SP/USP*1
S4LFT4125/373 125 45 x 45 6.1 20 1.6 160.2 yes
S4LFT3170/373 168 75 x 75 7.6 20 3.2 228.3 yes
S4LFT3250/373 241 115 x 115 10 20 7.4 304.8 yes
S4LFT1330/373 330 180 x 180 10.7 20 11.1 268.2 yes

355 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELECEN-
TRICITY ERROR
[°]
WORKING
DISTANCE
[mm]
SP/USP*1
S4LFT4149/075 48 6 x 6 2.1 15 2.1 69.3 yes
S4LFT4067/075 65 15 x 15 3.1 15 1.8 81.7 yes
S4LFT4010/075 100 35 x 35 6.5 10 1.2 132 yes
S4LFT4125/075 125 53 x 53 8 10 1.1 156.9 yes
S4LFT3170/075 163 90 x 90 11.4 10 4.3 221.7 yes
S4LFT4262/075 163 65 x 65 10.5 10 2 193.7 yes
S4LFT1330/075 330 210 x 210 15.4 14 21 260.5 yes

266 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELECEN-
TRICITY ERROR
[°]
WORKING
DISTANCE
[mm]
SP/USP*1
S4LFT3170/199 154 85 x 85 7.7 10 3.8 208.1 yes
S4LFT4263/199 163 70 x 70 9.2 10 2.6 218.4 yes
  • *1
    usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
    In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.

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