fシータ (fθ) レンズ|光学ガラス

XYガルバノスキャナー、またはポリゴンスキャナーと組み合わせて使用されるレンズは、fθレンズ、
平面視野対物レンズ(Plane field object lens)、または単にスキャンレンズと呼ばれています。

fθレンズは、医療やバイオテクノロジ(共焦点顕微鏡、眼科)、科学や研究に加えて、工業材料のレーザー加工、
レーザードリリング(穴あけ)、 合成材料のレーザー溶接、レーザー切断など、さまざまな用途で使用されています。

fθレンズの種類

一般的にfθレンズは、標準fθレンズテレセントリックfθレンズの2種類に分けられます。

標準fθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。平面集光面により、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたってほぼ一定のスポットサイズが得られます。像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

テレセントリックfθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。これは、穴を開けたり、3次元(深さ)の表面を構造化したりするために必要です。しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。

現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック fθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。


レーザー用レンズ素材

短パルスレーザーや超短パルスレーザーだけでなく、平均出力の高いレーザーはレンズにとって重要な課題です。
レーザー加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザー光源での使用を強く推奨します。


適切なレンズ選択への確認項目

  • 入射レーザー(波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅など)
  • スポット径
  • スキャンエリア(Scan size)
  • 必要なワーキングディスタンス

製品一覧


1000-1100 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELE-
CENTRICITY
ERROR [°]
WORKING
DISTANCE [mm]
SP/USP*1 ACHROMATIC データシート
S4LFT7010/450 100 35 x 35 18.3 10 1.5 115.0 yes yes

1064 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELE-
CENTRICITY
ERROR [°]
WORKING
DISTANCE [mm]
SP/USP*1 ACHROMATIC データシート
S4LFT0080/126 80 39 x 39 6.5 25 3.8 79.4 no no
S4LFT0163/126 163 107 x 107 26.4 12 15 181.2 no no
S4LFT0253/126 254 160 x 160 35.2 14 16.7 284.9 no no
S4LFT1254/126 254 160 x 160 41.4 12 14.9 306.5 no no
S4LFT3254/126 254 115 x 115 16.6 30 8.5 297 no no
S4LFT0350/126 350 212 x 212 56.3 12 16 412.2 no no
S4LFT0420/126 420 242 x 242 27.7 30 14.8 480.9 no no
S4LFT0508/126 508 325 x 325 55.6 20 16.3 651.4 no no
S4LFT0635/126 635 370 x 370 51.3 25 16.3 732.8 no no

532+1064 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELE-
CENTRICITY
ERROR [°]
WORKING
DISTANCE [mm]
SP/USP*1 ACHROMATIC データシート
S4LFT1163/081 163 102 x 102 13.3 / 20.0 12 12.7 159.0 no yes
S4LFT8254/081 254 180 x 180 16.6 / 33.0 15 19.7 211.6 no yes

515-589 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELE-
CENTRICITY
ERROR [°]
WORKING
DISTANCE [mm]
SP/USP*1 ACHROMATIC データシート
S4LFT7012/292 100 35 x 35 9.4 10 1.3 101.4 yes yes

532 nm

PART NUMBER FOCAL
LENGTH
[mm]
SCAN AREA
[mm x mm]
FOCUS SIZE
(1/e²)
MAX. BEAM-⌀
[mm]
MAX. TELE-
CENTRICITY
ERROR [°]
WORKING
DISTANCE [mm]
SP/USP*1 ACHROMATIC データシート
S4LFT5100/121 100 69 x 69 9.8 10 2.4 126.7 no no
S4LFT0300/121 300 200 x 200 19.4 14 15.8 324.1 no no
  • *1
    usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
    In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.

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