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マルチビームレーザー干渉計

ダブルビームレーザー干渉計 SP 5000 DS

ダブルビームレーザー干渉計 SP 5000 DS

長さ、ヨー角の測定

トリプルビームレーザー干渉計 SP 5000 TR

トリプルビームレーザー干渉計 SP 5000 TR

長さ、ヨー角、ピッチ角の測定

校正用レーザー干渉計 SP 15000 C6 NG

校正用レーザー干渉計 SP 15000 C6 NG

最大6軸の測定
機器キャリブレーション用

ディファレンシャルレーザー干渉計 SP 5000 DI

ディファレンシャルレーザー干渉計 SP 5000 DI

超高安定 長さ測定

高安定性 ディファレンシャルレーザー干渉計 SP 5000 DI/DS

高安定性 ディファレンシャルレーザー干渉計 SP 5000 DI/DS

超高安定 長さ、ピッチ角測定


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