高速・高精度 追尾
レーザーAFセンサーユニット
ATFシリーズ
液晶検査・リペア装置に搭載されている、高速・高精度の追尾レーザーAFセンサーユニット
WDI社のコアテクノロジーは、お客様がお持ちの顕微鏡システムやWDI製 顕微鏡システムに組込可能なオートマチック デジタルオートフォーカスセンサー（ATF）シリーズです。多種多様なアプリケーションの要求を満たすために、色々なタイプのセンサーモデルが利用可能です。
それぞれのモデルは特定の要件に応じて独自のオプションがあります。
WDI社のATFテクノロジーは、フラットパネルディスプレイ、電子機器、半導体製造など、世界中の様々な環境で使用されています。
バイオメディカル研究、およびイメージングオートメーション用途にも使用されています。
ATFシリーズの特長
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「スマート・センサー・アーキテクチャ」（SSA）半導体レーザー、
CMOSイメージセンサー、FPGAおよびマイクロプロセッサを搭載 - 高速、高精度、信頼性と再現性のあるパフォーマンス
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静止している、または動いている様々な表面、
および基板にリアルタイムでトラッキング（追従）オートフォーカスする機能 -
様々なシステムで利用可能。多様なオプションにより、
複雑なアプリケーションと要求の厳しいシステム環境に適応可能
静的、動的フォーカス
レーザー光学系と内蔵マイクロプロセッサの組合せにより、WDI社製 ATFセンサーは静止面と動的に動 いている面の両方に等しくフォーカスすることができます。 これをサポートできたのは、実際の製造現場で 10年以上顧客と協力し 課題を解決した経験によります。
高速・高精度
ATF センサーは、20kHz のリ フレッシュレートと最大6.5kHz のアウトプットレートで、フォーカスする“距離”と“方向”をすばやく決定します。自動調整、高度な処理、およびオンボード アルゴリズムにより、ATFセンサーは高速で移動する 複雑な表面上でもトラッキング (追従) フォーカスすることができます。
統合と実装の容易化
インテグレーションと実装の容易さは、ATFの重要な特徴です。アナログ出力とデジタル出力の両方の機種が利用可能です。多くのサードパーティ製ステッパー、リニアおよびピエゾZステージシステムにも対応でき、多数のコントローラ オプションも利用可能です。ATFコントロールソフトウェアとSDKが標準で利用できます。
柔軟性の高さ
WDI のATFセンサーは、パターンの有るサンプルや無いもの、ザラザラや拡散などの、多種多様なサーフェスで有効です。ATFは自動 的に反射率の変化を感知し、レーザーパワー調節することによって、表面の反射率の変動に適応することができます。センサーは、2 倍から 100倍の対物レンズ、UV、NUV、NIRなどの波長に対応しています。
ラインアップ
比較表
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| ATF タイプ | ATF 6 | ||
|---|---|---|---|
| 使用可能波長 (nm) | 658, 785, 850 | 660, 785 | 680, 785 |
| 出力 (mW) | 0.28@658nm, 0.8@785nm, 0.17@850nm | 0.25@660nm, 0.18@785nm | 1.8@680nm, 2@,785nm |
| レーザ安全クラス | 1 | 1 @660nm, 3B@785 | 3 B |
| 最大設置距離 (センサから対物間) | 200 mm | 200 mm | 300 mm |
| 内部リフレッシュレート | 20 kH | 20 kH | 20 kH |
| 出力データレート (Z ステージに対して) | 1.7 kHz / 6.5 kHz | 1.7 kHz / 6.5 kHz | 1.7 kHz / 6.5 kHz |
| 照射レーザ形状 | シングルドット | ライン | ライン |
| サンプル反射率 | 1 % ～ 99 % | 1 % ～ 99 % | 1 % ～ 99 % |
| 静的オートフォーカス精度 | ± 1/4 対物レンズ DOF 以内 | ± 1/4 対物レンズ DOF 以内 | ± 1/4 対物レンズ DOF 以内 |
| 動的 (追従 ) オートフォーカス精度 | ± 1/2 対物レンズ DOF 以内 | ± 1/2 対物レンズ DOF 以内 | ± 1/2 対物レンズ DOF 以内 |
| オートフォーカス繰り返し精度 | 1/3 対物レンズ DOF 以内 | 1/3 対物レンズ DOF 以内 | 1/3 対物レンズ DOF 以内 |
| アプリケーション |
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リニアレンジ (μm) ※距離認識範囲
| 対物レンズ (NA) | ATF 4 | ATF 6 | ATF 6.5 |
|---|---|---|---|
| 5X / 0.14 | ± 500 | ± 560 | ± 420 |
| 10X / 0.28 | ± 100 | ± 130 | ± 100 |
| 20X / 0.42 | ± 30 | ± 30 | ± 25 |
| 50X / 0.55 | ± 20 | ± 10 | ± 10 |
キャプチャーレンジ (μm) ※AF 動作可能範囲
| 対物レンズ (NA) | ATF 4 | ATF 6 | ATF 6.5 |
|---|---|---|---|
| 5X / 0.14 | ± 3000 | ± 3000 | ± 5000 |
| 10X / 0.28 | ± 1000 | ± 1500 | ± 3000 |
| 20X / 0.42 | ± 600 | ± 600 | ± 1800 |
| 50X / 0.55 | ± 200 | ± 250 | ± 750 |