MRC社のレーザービーム安定化システム “Compact”は、お使いのレーザーに高精度の位置安定性を提供することができるシステムです。
クローズドループシステムがリアルタイムで動作し、熱ドリフト、振動、またはその他の機械的衝撃によって引き起こされる、あらゆるタイプの偏差を排除します。 空気の変動、衝撃、可動オプティクスのような高周波による影響も補正することができます。
また本製品は、レーザービームの光路へ簡単に設置が可能なスタンドアロンなシステムです。 アナログコアを採用しているため、システムの全体的な解像度は、サンプリングレート、レイテンシー、デジタル化ステップなどによっての制限は受けません。
既存セットアップに本システムを組み込むだけで、次の4つのメリットを得ることができます。
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①常に安定したビーム位置と方向を保証
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②アプリケーションの最高精度を達成
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③アライメントの経時的変化を阻止
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④アライメント / 検証時間の節約
MRC社の現場での10年以上に渡る経験により、ほぼ全ての種類のレーザーで最適なパフォーマンスを保証します。
特長
- アクティブ・クローズド・ループ コントロール
- アナログシステムをコアとする最低の位相シフトの最高の制御パフォーマンス
- 時間のかかるパラメーター設定や、PCの設定は必要なし(PC不要!)
- アナログのリアルタイムコアにより、レイテンシーやデジタル化のステップはなし
- 連続光とパルス光レーザー両者の正確なポジショニング
- 超短パルスレーザー(ps, fs)に適用可能
- ミラーマウントを交換するだけで、既存のセットアップに簡単に統合が可能
- OEM バージョン可能
基本仕様
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全波長:190 nm ~ 3000 µm、THz も可能
(標準ディテクター:320 nm ~ 1100 nm) -
全繰り返しレート:単一パルスから CW まで全パルス遅延
(as, fs, ps, ns, …) -
広いダイナミックレンジ:> 1000 の係数による強度変数
(WID ディテクター使用時)
- 高速コントロール:連続的なシグナル処理、サンプリング遅延なし
- 分解能 / 精度:< 0.1 µm;< 0.1 µrad(最低 10~100 nm まで)
- ミラー径:0.5~4 インチ(ご要望によりその他のサイズも対応可能)
- OEM バージョン可能
システム構成
このビーム安定化システムには、3つの主要なコンポーネントがあります。
最高の解像度を持つ 『ビームポジション・ディテクター』、 超高速かつ堅牢な 『ピエゾ駆動型ミラーマウント』、 そして 『クローズド・ループ・コントローラー』 です。
ビームポジション・ディテクターとピエゾ駆動型ミラーマウントは、用途に応じて選択できます。
クローズド・ループ・コントローラーは共通です。
基本原理
希望のレーザーのポジションと角度は、1台または 2台のディテクタ(4-QD、またはPSD)によって定義されます。
その検出に必要なレーザービームは、高反射偏向ミラーを透過してくるレーザー出力のごく一部で十分です。
クローズド・ループ・コントローラーによって、ターゲット位置からのレーザー光の偏差を連続的に判定します。
このシステムは、ピエゾ作動型ミラーを必要とされる位置で継続的に駆動することで、偏差を補正します。
次の図は、典型的なセットアップ例です。
2台のアクチュエーターと、2台のディテクタを使用して、4次元(4D)でビームを安定させています。
このセットアップでは、まず アクチュエーター A / ディテクタ Aのセットで、アクチュエーター Bの安定したポジションを維持します。
次に、アクチュエーター B / ディテクタ Bのセットにより、アプリケーションの正しいビーム方向が確定させます。
アプリケーション 一覧では様々なセットアップを掲載しています。 併せてご覧ください。
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